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高分辨率,高速,大范围。用于测量纳米级表面纹理的 3D 白色干涉显微镜
发布时间 : 2023-12-12
文章编辑 : 网络部
访问数量 : 209
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配备东京精密专有的包络/绝对相位检测算法DEAP(包络和绝对相位检测算法)。在更宽的测量范围内以高灵敏度计算包络。由于DEAP的测量降噪效果,即使是传统方法无法很好测量的加工零件的倾斜表面,现在也可以获得更清晰的形状数据。

 

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采用白干涉法,可在短时间内完成测量

利用白色干涉原理,可以在短时间内非接触地测量加工零件的表面粗糙度和形状。由于不需要触针式三维表面粗糙度测量机所需的X轴和Y轴扫描,因此测量速度非常快,可以在短时间内完成测量。

 

独特的白色干涉条纹峰值检测方法DEAP

DEEP(包络和绝对相位检测算法)是东京精密独特的包络/绝对相位检测算法。它具有比PSI(相移干涉仪)更宽的测量范围,比VSI(垂直扫描干涉仪)更高的分辨率和更宽的测量范围,并以更高的灵敏度计算包络。由于DEEP的测量降噪效果,实现了压倒性的有效分辨率,即使是传统方法无法很好测量的加工零件的倾斜表面,现在也可以获得更清晰的形状数据。

 

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