新功能亮点!焦距变化测量功能实现了毫米级形状的高速测量。
这项焦距变化测量功能基于焦距变化显微镜技术,该技术在国际标准ISO 25178-6:2010中被定义为三维表面纹理的一种测量方法。
它特别适用于测量传统白光干涉测量法难以处理的陡峭斜坡。
这一功能为用户提供了一种测量毫米级形状的选择。通过将焦距变化测量功能与传统的白光干涉测量法相结合,单一的Opt 示波器能够满足更广泛的测量需求。
非接触·高分辨率·大范围
Opt-scope 0.01 nm 的高分辨率。 窄范围的粗糙度分析,宽范围的轮廓形状分析使设备有广泛的应用。
非接触式,可在短时间内完成工件的表面粗糙度和轮廓形状的测量。
可以根据各式各样的工件尺寸进行定制
可选择25毫米见方或50毫米见方,R200为200毫米见方,
从400平方毫米到最大600平方毫米,新的可扩展的特殊兼容大型Rex已添加到产品阵容中。
可用于测量半导体、半导体制造设备、模具等大型工件较多的地方。