保证顶级水平的旋转精度0.02μm
开创性的在Z、R、θ各轴
采用高精度空气轴承
此外,立柱、基座、R轴使用的是辉长岩,随使用时间发生的变化小。长期保证最高水平的高精度。
实现了高水平的高效率测量
60秒以内完成调平/调心,实现了高效率测量。
直径测量功能( ※需要R轴用校正标准器)
采用带全方向安全功能的传感器
在检测到向测针施加了过大负荷时紧急停止起作用而不对测针、传感器造成损害。
可再现的自动测量功能
可实现从多个截面测量到打印的完全自动化。
可配置偏置型传感器保持架(选配)日本取得专利
各种各样的工件都不会与R轴干涉,可轻松进行测量。